广岛大学半导体产业技术研究所与FENITEC Semiconductor公司(总部位于冈山县井原市,社长石井弘幸)共同宣布,全球首次成功在半导体量产工厂中试制出碳化硅(SiC)半导体集成电路(IC)。试制品已在高温环境下验证了良好运行性能,未来将正式启动用于器件设计的参数提取工作。该成果标志着具有高耐辐射性、可在高达500℃的高温环境下运行的SiC-IC实现量产迈出关键一步。
此次试制由FENITEC Semiconductor鹿儿岛工厂(鹿儿岛县汤水町)利用6英寸晶圆生产线完成。回路设计与工艺开发历时约一年,由双方组建联合团队共同推进。近期,包括用于测试互补型金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的测试芯片和工艺评估用器件等集成的试制晶圆,已交付至广岛大学。
SiC-IC相较传统硅(Si)IC具备极高的抗辐射能力。因此,其有望应用于核电站退役作业中的反应堆监控及各类设备控制、宇宙空间等极端环境。通过建立在半导体代工(Foundry)领域的量产路径,相关方力争推动采用SiC-IC的设备开发,力求实现该技术的早期社会应用。